在產品全壽命周期中,失效分析以解決失效問題、確定根本原因為目標。通過對失效模式開展綜合性試驗分析,它能定位失效部位,厘清失效機理——無論是材料劣化、結構缺陷還是工藝瑕疵引發(fā)的問題,都能被系統(tǒng)拆解。在此基礎上,進一步提出針對性糾正措施,從源頭阻斷失效的重復發(fā)生。作為貫穿產品質量控制全流程的關鍵環(huán)節(jié),失效分析的價值體現(xiàn)在對全鏈條潛在風險的追溯與排查:在設計(含選型)階段,可通過模擬失效驗證方案合理性;制造環(huán)節(jié),能鎖定工藝偏差導致的批量隱患;使用過程中,可解析環(huán)境因素對性能衰減的影響;質量管理層面,則為標準優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。電激勵的脈沖寬度與鎖相熱成像系統(tǒng)采樣頻率需匹配,通過參數(shù)優(yōu)化可大幅提高檢測信號的信噪比和清晰度。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應用
致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng),創(chuàng)新實現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設計,搭配靈活可選的制冷/非制冷模式,可根據(jù)您的實際需求定制專屬配置方案。這套設備的優(yōu)勢在于一體化集成能力:只需一套系統(tǒng),即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設計省去了多設備切換的繁瑣,更通過硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能,讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務。相比單獨購置多套設備,該集成系統(tǒng)能大幅降低采購與維護成本,在保證檢測精度的同時,為實驗室節(jié)省空間與預算,真正實現(xiàn)性能與性價比的雙重提升。失效分析鎖相紅外熱成像系統(tǒng)探測器鎖相檢測模塊功能是通過與電激勵信號的同步鎖相處理,從熱像序列中提取與激勵頻率一致的溫度波動分量。
鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵方式在電子產業(yè)的多層電路板檢測中優(yōu)勢明顯,為多層電路板的生產質量控制提供了高效解決方案。多層電路板由多個導電層和絕緣層交替疊加而成,層間通過過孔實現(xiàn)電氣連接,結構復雜,在生產過程中容易出現(xiàn)層間短路、盲孔堵塞、絕緣層破損等缺陷。這些缺陷會導致電路板的電氣性能下降,甚至引發(fā)短路故障。電激勵能夠通過不同層的線路施加電流,使電流在各層之間流動,缺陷處會因電流分布異常而產生溫度變化。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過檢測層間的溫度變化,精細定位缺陷的位置和類型。例如,檢測層間短路時,系統(tǒng)會發(fā)現(xiàn)短路點處的溫度明顯高于周圍區(qū)域;檢測盲孔堵塞時,會發(fā)現(xiàn)對應位置的溫度分布異常。與傳統(tǒng)的 X 射線檢測相比,該系統(tǒng)的檢測速度更快,成本更低,而且能夠直觀地顯示缺陷的位置,助力多層電路板生產企業(yè)提高質量控制水平。
在半導體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在,芯片集成度不斷提升,器件結構日益復雜,失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測設備往往難以兼顧微觀觀測與微弱信號捕捉,導致許多隱性缺陷成為 “漏網之魚”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實力,將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體,推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測設備(搭載自主研發(fā)的 RTTLIT (實時瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)),為半導體的失效分析提供了全新的技術范式。
三維可視化通過相位信息實現(xiàn)微米級深度定位功能,能夠無盲區(qū)再現(xiàn)被測物內部構造。
光束誘導電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應用上形成巧妙互補,能夠協(xié)同應對集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術的獨特優(yōu)勢在于,即便失效點被金屬層覆蓋形成“熱點”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實現(xiàn)精細檢測——這恰好彌補了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號捕捉受限的不足。電激勵激發(fā)缺陷熱特征,鎖相熱成像系統(tǒng)識別。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)哪家好
高靈敏度紅外相機( mK 級),需滿足高幀率(至少為激勵頻率的 2 倍,遵循采樣定理)以捕捉周期性溫度變化。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應用
致晟光電的一體化檢測設備,不僅是技術的集成,更是對半導體失效分析邏輯的重構。它讓 “微觀觀測” 與 “微弱信號檢測” 不再是選擇題,而是能同時實現(xiàn)的標準配置。在國產替代加速推進的背景下,這類自主研發(fā)的失效分析檢測設備,正逐步打破國外品牌在半導體檢測領域的技術壟斷,為我國半導體產業(yè)的高質量發(fā)展提供堅實的設備支撐。未來隨著第三代半導體、Micro LED 等新興領域的崛起,對失效分析的要求將進一步提升,而致晟光電的技術探索,無疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應用