RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學(xué)物鏡配置,構(gòu)建從宏觀到納米級的全尺度熱分析能力,靈活適配多樣檢測需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布,如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢,高效完成初步篩查;0.13~0.3x變焦鏡頭通過連續(xù)倍率調(diào)節(jié),適配芯片封裝體、傳感器陣列等中等尺度器件熱分析,兼顧整體熱場與局部細(xì)節(jié);0.65X~0.75X變焦鏡頭提升分辨率,解析芯片內(nèi)部功能單元熱交互,助力定位封裝散熱瓶頸;3x~4x變焦鏡頭深入微米級結(jié)構(gòu),呈現(xiàn)晶體管陣列、引線鍵合點(diǎn)等細(xì)微部位熱分布;8X~13X變焦鏡頭聚焦納米尺度,捕捉微小短路點(diǎn)、漏電流區(qū)域等納米級熱點(diǎn)的微弱熱信號(hào),滿足先進(jìn)制程半導(dǎo)體高精度分析需求。
多段變焦與固定倍率結(jié)合的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)宏觀到微觀熱分析平滑切換,無需頻繁更換配件,大幅提升半導(dǎo)體失效分析、新材料熱特性研究等領(lǐng)域的檢測效率與精細(xì)度。 量化 SiC、GaN 等寬禁帶半導(dǎo)體的襯底熱阻、結(jié)溫分布,優(yōu)化散熱設(shè)計(jì)。國產(chǎn)熱紅外顯微鏡用途
無損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析(NDA)技術(shù),為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價(jià)值樣品的前提下,捕捉隱性熱信號(hào)以定位內(nèi)部缺陷,既保障了分析的準(zhǔn)確性,又為后續(xù)驗(yàn)證、復(fù)盤保留了完整樣本,讓失效分析從 “找到問題” 到 “解決問題” 的閉環(huán)更高效、更可靠。
相較于無損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測,這些有損分析方法雖能獲取內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,但會(huì)破壞樣品完整性,更適合無需保留樣品的分析場景,與無損分析形成互補(bǔ)。 半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡平臺(tái)熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊,自動(dòng)標(biāo)記異常熱斑并匹配歷史失效數(shù)據(jù)庫。
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI )技術(shù)不僅可實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的故障精細(xì)定位,更在性能評估、熱管理優(yōu)化及可靠性分析等領(lǐng)域展現(xiàn)獨(dú)特價(jià)值。通過高分辨率熱成像捕捉設(shè)備熱點(diǎn)分布圖譜,工程師能深度解析器件熱傳導(dǎo)特性,以此為依據(jù)優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效提升設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性與使用壽命。此外,該技術(shù)可實(shí)時(shí)監(jiān)測線路功耗分布與異常發(fā)熱區(qū)域,建立動(dòng)態(tài)熱特征數(shù)據(jù)庫,為線路故障的早期預(yù)警與預(yù)防性維護(hù)提供數(shù)據(jù)支撐,從根本上去降低潛在失效風(fēng)險(xiǎn)。
車規(guī)級芯片作為汽車電子系統(tǒng)的重心,其可靠性直接關(guān)系到汽車的安全運(yùn)行,失效分析是對提升芯片質(zhì)量、保障行車安全意義重大。在車規(guī)級芯片失效分析中,熱紅外顯微鏡發(fā)揮著關(guān)鍵作用。芯片失效常伴隨異常發(fā)熱,通過熱紅外顯微鏡分析其溫度分布,能定位失效相關(guān)的熱點(diǎn)區(qū)域。比如,芯片內(nèi)部電路短路、元器件老化等故障,會(huì)導(dǎo)致局部溫度驟升形成明顯熱點(diǎn)。從而快速定位潛在的故障點(diǎn),為功率模塊的失效分析提供了強(qiáng)有力的工具??梢愿玫膸椭嚻髢?yōu)化芯片良率與安全性。熱紅外顯微鏡支持芯片、電路板等多類電子元件熱檢測。
致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號(hào)捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實(shí)現(xiàn)高達(dá)nW級的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應(yīng)用,提升了空間分辨率(可達(dá)微米量級)與溫度響應(yīng)線性度,使其能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點(diǎn)遷移和瞬態(tài)熱行為進(jìn)行精細(xì)刻畫。配合致晟光電自主開發(fā)的高數(shù)值孔徑光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺(tái),InSb探測器可在多物理場耦合背景下實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場成像,是先進(jìn)電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價(jià)中的關(guān)鍵。
熱紅外顯微鏡通過熱成像技術(shù),快速定位 PCB 板上的短路熱點(diǎn) 。制造熱紅外顯微鏡廠家
熱紅外顯微鏡可對不同材質(zhì)的電子元件進(jìn)行熱特性對比分析 。國產(chǎn)熱紅外顯微鏡用途
致晟光電熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)系列中的 RTTLIT P20 實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng),采用鎖相熱成像(Lock-inThermography)技術(shù),通過調(diào)制電信號(hào)提升特征分辨率與靈敏度,并結(jié)合軟件算法優(yōu)化信噪比,實(shí)現(xiàn)顯微成像下超高靈敏度的熱信號(hào)測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器,測溫靈敏度達(dá)0.1mK,顯微分辨率低至2μm,具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統(tǒng)重點(diǎn)應(yīng)用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴(yán)苛的場景,包括半導(dǎo)體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導(dǎo)體、LED及microLED等的失效分析,是電子集成電路與半導(dǎo)體器件失效分析及缺陷定位領(lǐng)域的關(guān)鍵工具。國產(chǎn)熱紅外顯微鏡用途